千亿国际娱乐app下载报道北方华创集成电路PVD设施安装量超越100腔室_千亿国际娱乐app下载官网资讯

北方华创PVD设施在集成电路主流生产线安装量超越100腔室。这是北方华创在集成电路领域市场化路线上的里程碑式的跨越,是国产高端PVD设施在集成电路领域的全面突破。

PVD设施是集成电路制作制程核心的薄膜工艺设施。北方华创是国内集成电路PVD设施生产厂商,拥有磁控溅射源设计、等离子发生与操纵等多项核心技术,并拥有自主知识产权。北方华创领先推出的TiN Hardmask PVD系统、Al Pad PVD系统等产品,已经应用于28nm及14nm工艺制程。其中,TiN Hardmask PVD系统已成为28nm大生产线中首台国产Baseline机台。TiN Hardmask PVD以优异的工艺体现获得国际主流客户的青睐。Al PadPVD系统,也顺利打入国际供应链体系,实现了在逻辑、存储和新型显示等多个领域的应用。

除了在集成度电路领域应用外,北方华创PVD设施技术也延伸应用于先进封装和半导体照明等领域。从2012年首台设施进入产线应用开头,至今已完成超越320个工艺腔室的销售安装,累计量产超越800万片。

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